تترا متیل آمونیوم هیدروکسید (TMAH)

 

تترا متیل آمونیوم هیدروکسید (TMAH)، یک ماده جامد به شکل هیدراته یا یک مایع بی رنگ با بوی قوی آمونیاک است که البته فرم تجاری آن به صورت محلول آبی می باشد. یک نوع باز آلی که در آب محلول است. موجب خوردگی فلزات و بافت ها می شود.

 

TMAH یک نمک آمونیوم است و به طور گسترده در ساخت های تجهیزات میکرو یا نانوالکترونیک به عنوان یک توسعه دهنده مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین به عنوان ماده شیمیایی خالص و معرف، در صنایع استفاده می گردد.

 

هیدروکسید تترا متیل آمونیوم یک ماده کاملاً بازی است و در صورت تماس با پوست بسیار سمی است، هرکسی که در آزمایشگاه با ترکیبات حاوی TMAH کار می کند، باید خود را با داده های ایمنی آن آشنا کند و یک روش عملی استاندارد مشخص (SOP) ایجاد شود.

 

خواص و مشخصات شناسایی تترا متیل آمونیوم هیدروکسید

 

خواص  مشخصات
شکل فیزیکی                                                   جامد یا مایع بی رنگ فرمول شیمیایی                                                                  C۴H۱۳NO
دانسیته (۲۵-۲۰ درصد محلول آبی)                       (g/cm۳) ۱.۰۱۵ وزن مولکولی                                                           (g/mol) 91.154
نقطه ذوب (پنتاهیدراته)                                                        (۰C) 67 شماره                                                               (CAS No) 75-59-2
نقطه جوش                                                            تا تخریب ساختار بازیسیته (pKb)                                                          بیشتر از  ۴.۲
حلالیت در آب                                                              بسیار محلول نام ها                                            تترا متیل آزانیوم هیدروکسید

 

تولید تترا متیل آمونیوم هیدروکسید

تولید تترا متیل آمونیوم هیدروکسید

یکی از اولین روش های تولید تترا متیل آمونیوم هیدروکسید، توسط واکر و جانستون منتشر شد که در آن روش، با واکنش نمک متاتزیز از تترا متیل آمونیوم کلرید و پتاسیم هیدروکسید درون متانول خشک سنتز شده که در آن TMAH محلول است، اما کلرید پتاسیم نیست:

 

NMe۴+ Cl + KOH → NMe۴+ OH + KCl

 

Me مخفف گروه متیل CH۳ است.

 

این گزارش همچنین حاوی جزئیاتی برای جداسازی TMAH به شکل پنتاهیدرات آن است.

 

کاربردهای تترا  متیل آمونیوم هیدروکسید

 

کاربردهای تترا  متیل آمونیوم هیدروکسید

 

یکی از کاربردهای صنعتی TMAH برای حفر ناهمسانگرد سیلیکون است. این ماده به عنوان یک حلال بازی در فتوسنتز اسیدی در فرآیند فوتولیتوگرافی مورد استفاده قرار می گیرد.

 

هیدروکسید تترا متیل آمونیوم برخی از خصوصیات کاتالیزور انتقال فاز را دارد و به عنوان سورفاکتانت در سنتز فروم فلوئید و مهار تجمع نانوذرات از آن استفاده می شود.

 

در حال حاضر TMAH به عنوان رایج ترین معرف در آنالیزهای ترموشیمی مورد استفاده قرار می گیرد، در این روش های آنالیز که تحلیلی هستند شامل هر دو روش تجزیه در اثر حرارت و مشتق شیمیایی آنالیت است.

 

اچینگ ناهمسانگرد مرطوب:

 

تترا متیل آمونیوم هیدروکسید متعلق به خانواده محلول های هیدروکسید آمونیوم کواترنر (QAH) است و معمولاً برای ناهمسانگردی اچ سیلیکون استفاده می شود.

 

درجه حرارت معمولی اچ بین ۷۰ تا ۹۰ درجه سانتی گراد و غلظت های معمولی ۵ تا ۲۵ درصد وزنی از TMAH در آب است. نرخ اچ سیلیکون به طور کلی با درجه حرارت و افزایش غلظت هیدروکسید تترا متیل آمونیوم افزایش می یابد.

 

با افزایش غلظت تترا متیل آمونیوم هیدروکسید، زبری سطح سیلیکون اچ شده کاهش می یابد، و می توان سطوح صاف را با محلول های ۲۰ درصد  TMAH بدست آورد. میزان اچ به طور معمول ۰.۱ میکرومتر در دقیقه است.

 

برهمکنش های تترا آمونیوم هیدروکسید با CO۲:

 

از آنجا که TMAH یک باز قوی است، با گازهای اسیدی مانند CO۲ واکنش های اسید – بازی را انجام می دهد و می توان آن را به عنوان مجموعه ای از واکنش های پی در پی توصیف کرد:

 

N ۲[(CH۳)۴NOH] + CO۲ ⇌ [(CH۳)۴N]۲CO۳ + H۲O

 

به دلیل حلالیت کم نمک کربنات در متانول، یک رسوب سفید در متانول مشاهده می شود. با وجود CO۲ اضافی، نمک بی کربنات تشکیل می شود و رسوب حل می شود:

 

CH۳)۴N]۲CO۳ + CO۲ + H۲O → ۲(CH۳)۴NHCO۳)]

 

نبودن رسوب بیش از CO۲ نشان دهنده حلالیت بالاتر TMAHCO۳ در متانول نسبت به TMA)۲CO۳) است. علاوه بر این، نشان داده شده است که نمک بی کربنات به جای محلول TMAH، نمایانگر ماده مؤثر در حذف مقاومت نوری و حذف اچ باقی مانده در فشارهای بالا است.

 

سمیت تترا متیل آمونیوم هیدروکسید

 

مسمومیت با هیدروکسید تترا متیل آمونیوم، علاوه بر سوختگی شیمیایی مربوط به قلیایی  بودن آن موجب عوارض پوستی شدیدی می شود.

 

TMAH همچنین می تواند منجر به نارسایی تنفسی و یا مرگ ناگهانی شود.

 

جهت خرید این محصول اینجا جستجو کنید.

خرید محصولات از این سایت تحت گارانتی دکتر شاهرضایی می باشد.